自动甩干机，甩干机厂家

自动旋干机

DOWN FIOW SPIN DRYER

原理

利用高速旋转形成离心力，同时提供高流量洁净气流进入腔室，提高晶圆干燥效能，缩短干燥时间。



方式

配置高密度Hepa Filter、Exhaust Damper、厂务抽风使高流量气体进入腔室旋转后排出湿气。

行星式旋转，并使晶片不产生自转的磨损，可抑制微尘旋转可约6分钟达到干化目的。

 

Low Cost

客制化转盘与盒夹2篮、4篮高效产能。

旋干快速，无使用纯水、热氮，使生产成本更低。

低厂务耗能（仅动力与CDA）。