ICP/CVD/PVD尾气处理器

ICP / CVD / PVD尾气处理器

EXHAUST GAS TREATMET EQUIPMENT



产品介绍

Product Description

根据ICP、CVD、PVD三种设备排除有毒气体的类型，可选用三种不同尾气处理设备。

能有效将半导体制程中ICP、CVD、PVD设备排出有毒、有害气体透过尾气处理器后，可有效减少排放管路内的结晶，并排至*废气处理，达到排放标准。